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- 壓阻加速度傳感器的典型結(jié)構(gòu)
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2015/7/17
針對不同的應(yīng)用有許多類型的壓阻加速度傳感器。
彎曲梁型
這種類型設(shè)計(jì)的加速度傳感器優(yōu)點(diǎn)是簡便而且堅(jiān)固，缺點(diǎn)是對于給定的共振頻率其靈敏度相對較低，這是因?yàn)榇蟛糠謶?yīng)變能都傳到懸臂梁上而不是懸臂梁上的應(yīng)變計(jì)。
壓力集中限動和阻尼型
為了設(shè)計(jì)出比彎曲梁型加速度傳感器具有更高的靈敏度和共振頻率的加速度傳感器，提出了在壓阻元件上施加大部分應(yīng)變能的設(shè)計(jì)。這種方法的靈敏度適用于測量小于100g時的加速度。為了抵抗環(huán)境沖擊，設(shè)計(jì)中加入了過載限動器。為了提供寬頻帶響應(yīng)，在機(jī)械系統(tǒng)周圍添加硅油以增加阻尼。這些設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于具有較高的靈敏度，而且在特定靈敏度下具有寬頻響應(yīng)和過量程保護(hù)；缺點(diǎn)在于設(shè)計(jì)復(fù)雜和溫度范圍有限。這種設(shè)計(jì)的高靈敏度來源于較大的質(zhì)量塊上，其應(yīng)變能力大部分都作用在應(yīng)變計(jì)上（中性軸上較細(xì)的部分相當(dāng)于鉸鏈，其剛度非常�。＿@種設(shè)計(jì)的寬頻帶響應(yīng)來源于相對較高阻尼（臨界阻尼的0.7倍），這種阻尼允許加速度傳感器在共振頻率附近處使用，而且還不會產(chǎn)生過度增大的靈敏度。過量程保護(hù)由限動器提供，其設(shè)計(jì)目的是在應(yīng)變計(jì)應(yīng)力過大之前中止質(zhì)量塊的運(yùn)動。在敏感壓阻加速度傳感器中過量程保護(hù)是必不可少的，如果沒有過量程保護(hù)，則一般的運(yùn)送和操作過程都可能使其損壞。阻尼流體的粘度會隨溫度而變化，由此阻尼系數(shù)會隨溫度而產(chǎn)生明顯變化。只有在接近室溫條件下阻尼才是0.7倍的臨界阻尼。
微機(jī)械型
微機(jī)械型加速度傳感器的整個工作裝置（質(zhì)量塊、彈簧和支架）都是由一個單晶硅蝕刻而成，這個過程就是所謂的微機(jī)械加工。該加工過程可以制造出一個小而且堅(jiān)固的裝置。微機(jī)械型加速度傳感器額優(yōu)點(diǎn)是體積小、共振頻率高、堅(jiān)固性好以及頻率范圍寬。這種類型加速度傳感器的加速度測量范圍很大，可從低于10g到高于200000g，而且將應(yīng)變計(jì)粘貼在被測結(jié)構(gòu)上時無需粘合劑，這使系統(tǒng)具有更好的穩(wěn)定性。
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